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產(chǎn)品分類TECHNICAL ARTICLES
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日本進口filgen等離子鍍膜機EVO涂層多功能 OPC60A這是一種以SEM樣品為主的導電性薄膜的制造裝置,采用“利用直流輝光放電的負輝光相區(qū)域的等離子膜制造方法"。
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日本進口filgen等離子鍍膜機EVO涂層多功能 OPC60A 特點介紹
這是一種以SEM樣品為主的導電性薄膜的制造裝置,采用“利用直流輝光放電的負輝光相區(qū)域的等離子膜制造方法"。
用鋨離子鍍膜
機電鏡觀察 解決您的難題!
它對于防止充電、減少顆粒感和熱損傷非常有效
鋨等離子鍍膜機是一種主要用于SEM樣品的導電薄膜生產(chǎn)裝置,采用“使用直流輝光放電的負輝光相區(qū)域的等離子成膜方法"。
導電鋨薄膜可以使用獲得的直流等離子體CVD方法形成(在負輝光相區(qū)域內(nèi)成膜)。
自動操作允許任何人安全地沉積鋨薄膜并具有良好的再現(xiàn)性。
日本進口filgen等離子鍍膜機EVO涂層多功能 OPC60A 規(guī)格參數(shù)
該產(chǎn)品陣容包括鋨薄膜專用型號和配備使用萘的等離子聚合膜機構(gòu)的兩用型號。
可選配超薄膜形成機構(gòu)、親水處理機構(gòu)、深樣品機構(gòu),支持各種應(yīng)用。
此外,除了傳統(tǒng)的開關(guān)型外,鋨薄膜型號的產(chǎn)品陣容中還新增了觸摸屏型。
對于要用掃描電子顯微鏡(SEM)成像的樣品,必須在樣品表面形成導電薄膜,以防止其因電子束照射而帶電。
傳統(tǒng)上,導電薄膜是使用濺射或金蒸發(fā)方法形成的。然而,人們擔心樣品表面的顆粒度以及樣品熱損傷造成的損壞。
因此,Philgen 開發(fā)了鋨等離子體鍍膜機,這是一種可以利用直流等離子體 CVD(負輝光相區(qū)域成膜)方法形成導電鋨薄膜的設(shè)備。
當少量(OsO4)氣體/萘氣體(C10H18)通入真空室并引起輝光放電時,瞬間變成等離子態(tài),分為正輝光相區(qū)和負輝光相區(qū)。
此時,電離的分子立即附著并沉積在置于陰極板負輝相區(qū)域的樣品表面上,形成非晶態(tài)鋨薄膜/等離子體聚合膜(萘)。
鋨薄膜是非晶態(tài)的,因此不會對樣品造成熱損傷,并且當用SEM對涂層樣品進行拍照時,可以獲得極其清晰的圖像,沒有顆粒感。
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